型號(hào)：GZ-RTS-3

手持式四探針測(cè)試儀 \四探針測(cè)試儀\

描述：該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器

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2024-04-17
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手持式四探針測(cè)試儀四探針測(cè)試儀型號(hào)：GZ-RTS-3

	測(cè)量范圍寬、度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式；
	體積僅為：185mm（長(zhǎng)）90mm（寬）30mm（）；重量：350g；
	使用鋰電池供電，次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；

    RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
    儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、度、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

　術(shù)　　標(biāo) ：

測(cè)量范圍	電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
恒源	電量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；度：±0.1%；顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；性、量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	（見(jiàn)探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差（按JJG508-87行）	1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差	（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤5%
外型尺寸	185mm（長(zhǎng)）90mm（寬）30mm（）
重量	350g
電源	鋰電池，次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65%；無(wú)頻干擾；無(wú)強(qiáng)光直射

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北京恒奧德儀器儀表有限公司
：鵬
： /57196682 /57191006//

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