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描述：GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家更新時(shí)間
2024-04-16訪問量
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 恒奧德 |
|---|
| 測量范圍 | 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）； 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）； 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm； 電阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； |
| 恒源 | 電量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓（總力）； |
| 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | （見探頭附帶的合格證） |
| 模擬電阻測量相對誤差 （ 按JJG508-87行） | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機(jī)測量zui大相對誤差 | （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
| 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口 |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強(qiáng)光直射； |
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